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金屬鏡面加工

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金屬鏡面加工

金屬鏡面加工是針對鋁、銅、鈹?shù)冉饘俨牧系母呔裙鈱W表面制造技術,其核心在于克服金屬材料軟質地、易產生劃痕和熱變形的加工難點。關鍵技術包括:(1超精密金剛石單點車削,通過納米級切削深度和超高轉速(>5000rpm)實現(xiàn)亞微米級面形精度;(2無應力鍍鎳磷合金層,作為拋光過渡層以填補金屬晶界缺陷;(3化學機械拋光(CMP)結合離子束修形,將表面粗糙度降至0.5nm以下。金屬鏡面具有高熱導率和輕量化優(yōu)勢,常用于紅外光學系統(tǒng)(如鋁制反射鏡)和空間低溫載荷(如鈹鏡),但需通過熱穩(wěn)定化處理(如-196℃深冷循環(huán))以抑制微應變,最終面形精度可達λ/20(λ=632.8nm),是低成本、快速響應光學元件的首選方案。


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