軟性玻璃加工主要針對冰洲石（CaCO?）、氟化鈣（CaF?）等低硬度、高熱敏性光學(xué)晶體，其核心挑戰(zhàn)在于解理特性（冰洲石易沿晶面裂開）和軟質(zhì)表面（莫氏硬度3-4）導(dǎo)致的加工缺陷控制。關(guān)鍵技術(shù)包括：(1)低溫恒溫拋光，通過制冷平臺維持20±0.5℃環(huán)境抑制熱膨脹；(2)解理面自適應(yīng)加工，針對冰洲石的各向異性采用振動輔助金剛石車削，刀具傾角動態(tài)調(diào)整至±2°以內(nèi)；(3)非水基拋光液化學(xué)機械拋光（如乙二醇基），避免氟化鈣的水解腐蝕。此類材料加工后需超凈封裝防止潮解，廣泛應(yīng)用于紫外光刻鏡頭（CaF?）和偏振光學(xué)系統(tǒng)（冰洲石棱鏡），面形精度可達λ/20（@632.8nm）。

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